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洁净度级别 |
尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm尘粒数 |
≥5μm尘粒数 |
微生物最大允许数 浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
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100级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
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10,000级 |
350，000 |
2，000 |
100 |
3 |
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100，000级 |
3，500，000 |
20，000 |
500 |
10 |
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300，000级 |
10，500，000 |
60，000 |
1000 |
15 |
ISO14644-1（国际标准）
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空气洁净 度等级(N) |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米） |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1.0um |
5.0um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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ISO Class4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
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ISO Class5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
|
ISO Class6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
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ISO Class7 |
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352,000 |
83,200 |
2,930 |
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ISO Class8 |
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3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
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ISO Class9 |
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35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
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